Process Kit Ⅲ

 
Lower Shield Champ 內下環SYF315


 

 
TMO-CVD Blocker Plate SYF300


 

 
TTN30mm upper shied 上遮擋板清洗 SYF306


 

 
BIE-Lower 2013655 
 
MO-CVD Lid Isolater
SYF297


 

 
下遮蔽擋板0020-29711-004 SYF324


 

 
CHEAN W,SHIED UPPER 內遮環 SYFT01